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                FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

                FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
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                • FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

                FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

                FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

                產(chǎn)品描述


                5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
                FBA6432_FBA系列半導體機器人
                 
                • 采用閉環(huán)伺服控制
                • 可根據(jù)設備布局定制臂長和Z軸行程
                • 可選配免電池絕對式編碼器
                • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

                臂長

                640mm

                額定/最大負載

                4kg

                搬運物

                ≤Φ300mm晶圓

                新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

                關鍵詞:

                新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

                規(guī)格參數(shù)

                新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人


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